序号

机型名称

配置モデル

システムの特徴

1

ウェハーレベル老化システムローダー

WLBI3810-AL

- ウェハーの自動ローディング/アンローディングをサポート

- 顧客のSMIF 対応オーバーヘッド搬送システムに適応可能

- カセット内ウェハー状態の自動取得

- Wafer ID 読み取り

- ウェハーフラットニング

2

ウェハーレベル老化システム搬送機 1

WLBI3810-H1

- ウェハーをローダーとエージングマシンの1～3 層間で搬送する

3

ウェハーレベル老化システム搬送機 2

WLBI3810-H2

- ウェハーをローダーとエージングマシンの4～9 層間で搬送する

4

晶円級老化システム主機

WLBI3810-M

-システムの老朽化したキャビネットおよびその自動化部分を含む

- 6&8インチウェーハ

-温度 RT〜175℃

-温度均一性≤±2℃、精度≤1℃、分解能 0.1℃

-針跡の繰り返し精度が±25μm 以下

-窒素ガス保護に対応し、高圧スパークやパッドの酸化を防止

備考：HTGB+HTRB：最大 9ステーション構成

5

晶円級老化システム単層

WLBI3810-L

-高精度漏れ電流テスト、最高精度の漏れ電流分解能は0.1nAに達します

- Mapデータバインディングをサポート、データのトレーサビリティが可能

- HTGBとHTRBを自動で切り替え可能、かつRBの経年劣化プロセス中にゲート極へ負電圧を印加

- IgssとIdssのリーク電流設定をスキャン可能

- Vthパラメータテストを統合

- 柔軟な経年劣化試験計画の設定が可能

- SECS/GEM 通信インターフェースをサポート

- ローカルデータ及びデータベースアップロードをサポート、EAP 連携に対応

- CP MAPデータインポートをサポート

- オンラインでのテストRecipe 編集をサポート

- ソフトウェアは3 段階の権限管理と複数アカウント管理に対応しています

- 1 年間無料メンテナンス

備考：HTGB+HTRB 満装備で9 作業ステーション

6

晶円級老化システム治具

WLBI3810-F

- 6インチおよび8インチウェーハに対応

- SiCウェーハのエイジング試験：HTGB＋HTRB 対応

- 治具最大耐圧 2000V（個々のダイサイズにより最大耐圧が変動する場合あり）

- フルタッチ方式・全ダイ一括エイジング対応、最大 2112ダイ（2560ダイはカスタム対応要）